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卢智

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：武汉科技大学更多>>
发文基金：湖北省自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇织构
  • 1篇ZNO
  • 1篇铝
  • 1篇AL
  • 1篇衬底
  • 1篇ZNO薄膜

机构

  • 1篇武汉科技大学

作者

  • 1篇江鑫
  • 1篇贾涓
  • 1篇龚甜
  • 1篇吴隽
  • 1篇卢智

传媒

  • 1篇人工晶体学报

年份

  • 1篇2015
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
Al衬底取向与ZnO薄膜织构的关系
2015年
以发生了二次再结晶的高纯Al为衬底材料,采用射频磁控溅射法制备了ZnO薄膜。研究了溅射工艺及Al衬底取向对ZnO薄膜的影响,分析了Al衬底取向与ZnO薄膜织构的关系。结果显示,当溅射工艺恰当时,高纯Al衬底上可以制备出晶态ZnO薄膜,但Al衬底的取向对ZnO薄膜的结晶性具有更大的影响。Al衬底的轧面上主要为{100}面织构,沉积的ZnO薄膜主要是{0002}面织构和少量的{112—0}面织构组分。
江鑫贾涓吴隽龚甜卢智
关键词：ZNO薄膜织构
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共1页<1>
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