何铁军
- 作品数：3 被引量：3H指数：1
- 供职机构：南京航空航天大学机电学院更多>>
- 相关领域：金属学及工艺更多>>
- 激波辅助纯钛微细群孔光刻电解试验研究被引量：1
- 2010年
- 随着微机电系统(MEMS)技术的发展,近年来钛及钛合金的微细群孔加工成为国内外研究的热点。虽然光刻电解加工结合了光刻技术和电解加工两者的优点,可实现高效、高精度金属微细群孔加工。但由于钛及钛合金表面极易钝化,常规电解加工难度很大。采用有机电解液有效地解决了加工过程中的表面钝化问题。此外,为克服电解加工过程中产物难以排出造成的腐蚀不均匀等难题,进行了激波辅助纯钛微细群孔光刻电解试验研究,在厚100μm纯钛薄板上进行了群孔加工,平均孔径为371μm,材料蚀除速率达到35μm/min。实验结果表明,通过激波产生的瞬时压力扰动,能显著改善极间状态,有效提高加工稳定性和表面质量,尺寸一致性好。
- 江一汪炜刘正埙何铁军彭昀
- 关键词：激波钛
- 基于Taguchi方法的钼栅网微细光刻电解试验研究被引量：2
- 2011年
- 影响钼栅网电解加工尺寸均一性的因素有电解液浓度、电流密度、阴极直径以及极间间隙等。利用Taguchi方法对这些因素进行综合分析及试验验证,阴极直径和极间间隙作用显著。通过ANSYS软件对电解过程中的电场进行分析,得出了阴极直径和极间间隙大小的改变对阳极表面电场的影响规律。在此基础上,采用酸性活化电解液对钼栅网进行微细光刻电解加工,取得了较好的试验结果。
- 何铁军汪炜冯海娣刘正埙
- 关键词：电场分析
- 激波辅助纯钛微细群孔光刻电解试验研究
- 微机电系统(MEMS)技术的发展,近年来钛及钛合金的微细群孔加工成为国内外研究的热点.虽然光刻电解加工结合了光刻技术和电解加工两者的优点,可实现高效、高精度金属微细群孔加工.但由于钛及钛合金表面极易钝化,常规电解加工难度...
- 江一汪炜刘正埙何铁军彭昀
- 关键词：PHOTOETCHINGTITANIUMMICRO-HOLEARRAY
