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卢永惠
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
供职机构:
江苏大学材料科学与工程学院
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相关领域:
理学
一般工业技术
电气工程
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合作作者
李岩
江苏大学材料科学与工程学院
查燕青
江苏大学材料科学与工程学院
宗华
江苏大学材料科学与工程学院
傅明喜
江苏大学材料科学与工程学院
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宗华
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查燕青
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李岩
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卢永惠
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1篇
表面技术
年份
1篇
2005
共
1
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被引量排序
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工艺参数对Ti和NdFeB薄膜形态的影响
被引量:4
2005年
采用磁控溅射法制备Ti、NdFeB薄膜,并研究分析了工艺参数对Ti薄膜及NdFeB磁性薄膜表面形态的影响。试验结果表明,在一定的工艺条件下,通过对基片的加热控制可以获得单一方向生长的柱状晶结构薄膜。随着溅射功率的提高,NdFeB薄膜的沉积均匀性降低。
傅明喜
李岩
查燕青
宗华
卢永惠
关键词:
表面形态
溅射功率
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