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王宇

作品数:23 被引量:96H指数:7
供职机构:中国科学院光电研究院更多>>
发文基金:国家科技重大专项国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信机械工程理学航空宇航科学技术更多>>

文献类型

  • 22篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 13篇电子电信
  • 7篇机械工程
  • 7篇理学
  • 4篇自动化与计算...
  • 4篇航空宇航科学...
  • 2篇一般工业技术
  • 1篇天文地球

主题

  • 5篇极紫外
  • 4篇抑制率
  • 4篇光刻
  • 4篇光学
  • 3篇紫外光刻
  • 3篇宽带
  • 3篇激光
  • 3篇极紫外光刻
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  • 2篇激光技术
  • 2篇光技术
  • 2篇光学制造

机构

  • 23篇中国科学院光...
  • 8篇中国科学院
  • 5篇中国科学院研...
  • 5篇中国科学院大...

作者

  • 23篇王宇
  • 8篇陈进新
  • 4篇吴晓斌
  • 3篇王魁波
  • 3篇朱精果
  • 3篇罗艳
  • 3篇张善从
  • 2篇袁洪
  • 2篇张晓坤
  • 2篇周翊
  • 2篇徐志明
  • 1篇梁勖
  • 1篇胡文斌
  • 1篇方晓东
  • 1篇林宝军
  • 1篇刘广义
  • 1篇徐向宇
  • 1篇游利兵
  • 1篇孙辉先
  • 1篇李磊霞

传媒

  • 5篇激光与光电子...
  • 3篇空间科学学报
  • 3篇微计算机信息
  • 3篇真空科学与技...
  • 2篇宇航学报
  • 2篇中国科学院研...
  • 1篇量子电子学报
  • 1篇光学学报
  • 1篇振动与冲击
  • 1篇飞行器测控学...
  • 1篇2012年中...

年份

  • 2篇2017
  • 3篇2016
  • 3篇2015
  • 1篇2014
  • 1篇2012
  • 2篇2010
  • 5篇2009
  • 3篇2008
  • 1篇2006
  • 2篇2005
23 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
一种4路视频压缩的调度设计与实现
2009年
嵌入式系统和视频编解码目前已经得到广泛的应用与长足的发展,本文充分利用嵌入式系统和多媒体数字处理系统的长处,发挥双核的优势,对目前压缩路数单一的状况做了改进,实现了4路视频的实时采集、H.264压缩、网络传输和VGA显示;重点详细介绍了4路视频的调度和切换以及DM642与PXA255芯片之间的HPI通信协议。
胡文斌王宇张善从
关键词:H.264DM642PXA255HPI
星载高速数据路由技术的应用研究被引量:3
2008年
目前我国有效载荷数据管理系统只具备多对一、先进先出的简单功能。为满足航天器有效载荷高速数据多路输入、多路输出的未来发展需求,该文提出了星载高速数据路由的解决方案。设计中充分利用FPGA的高速数据处理能力和SoC的灵活性,实现了对多个数据源路由存储以及针对重要数据和敏感数据优先下传等功能,提高了有效载荷数据传输的实时性和灵活性,在空间飞行器有效载荷数据管理系统中具有广阔的应用前景和重要的实用价值。
张东伟王宇张善从
关键词:片上系统现场可编程门阵列
基于光弹调制器的对准光路装调方法
对准系统是半导体设备光刻机的核心分系统之一,为保证其对准精度,提出了一种基于光弹调制器的对准光路装调方法.针对双光栅对准系统,物光栅、参考光栅与偏L振分光元件SAVART板的相对位置关系是影响对准精度的重要因素,本文运用...
李伟超齐月静刘广义王宇
文献传递网络资源链接
符合CCSDS标准的RS(255,223)码译码器的FPGA实现及其性能测试被引量:13
2005年
RS(Reed-Solomon)码是差错控制领域中一种性能优异的非二进制分组循环码,由于它具有很强的随机错误和突发错误的纠错能力,被CCSDS,NASA,ESA等空间组织接受,广泛应用于深空探测中.本文采用改进的Berlekamp算法,用FPGA实现了符合CCSDS标准的RS(255,223)码译码器;介绍了该译码器的实现流程、性能测试方法和基于PCI总线接口的测试平台;给出了测试结果,并且对理论上RS(255,223)译码器的误码性能与实际测试的误码率结果进行了比较和分析.验证结果证明该译码器能工作在400Mbps以上的码率,使用FPGA资源180000门,译码效果与理论上译码效果一致.
石俊峰王宇孙辉先
关键词:CCSDSREED-SOLOMON码PCI总线
极紫外光刻动态气体锁抑制率的理论研究被引量:2
2016年
从理论上系统性地研究了动态气体锁抑制率,提出了动态气体锁理论分析模型。通过理论分析推导出单组分和多组分清洁气体在等截面或者变截面条件下的动态气体锁抑制率解析表达式,并对单组分清洁气体在等截面和变截面条件下的动态气体锁抑制率进行了比较。研究结果表明,当抑制率为85%以上时,可以近似地使用等截面假设来计算动态气体锁抑制率,且应以清洁气体出口处截面面积作为动态气体锁平均截面面积;动态气体锁抑制率与动态气体锁结构以及清洁气体相关量值有关,当给定动态气体锁结构和扩散系数时,动态气体锁抑制率随着向硅片台腔室扩散的气体体积流量的增大而增大。该动态气体锁抑制率理论研究体系,能够为极紫外(EUV)光刻机动态气体锁的研制提供理论依据。
陈进新王宇谢婉露
关键词:X射线光学抑制率
基于宏定义动态链接的模块化星载软件升级方法研究被引量:7
2010年
提出了基于宏定义动态连接的软件模块化设计思路,并针对某小卫星平台的体系结构,对其星载软件进行了具体的模块化实现,同时提出了一种在轨升级方案.经实验验证分析,所提出的模块化设计思路提高了星载软件在轨升级的效率和灵活性,升级过程中对结构化模块信息上载和验证,提高了升级方法的可靠性和安全性.
李磊霞王宇林宝军张善从
关键词:星载软件动态链接宏定义
空间微重力磁悬浮平台激励器研究被引量:10
2008年
为满足空间实验室的科学实验载荷对微重力环境水平的要求,需要保证空间微重力实验载荷平台的振动隔离性能,即需要平台激励器能在控制系统的作用下适时地产生抑制平台扰动的激励力.本文提出了平台激励器的初步指标,从磁悬浮基本原理出发设计出多种结构形式,在此结构基础上完成有限元磁路仿真和激励器的线圈设计,并对各种结构形式进行比较,根据比较结果总结出各结构形式的优缺点,为激励器的具体设计提供了依据.
陈进新王宇
关键词:结构形式有限元仿真
极紫外辐照损伤测试系统光学仿真研究
2015年
为了科学地筛选极紫外光刻机所用的材料和工艺,需要建立极紫外辐照损伤测试系统、开展真空极紫外辐照下各种材料的损伤实验。极紫外辐照损伤测试系统主要包括极紫外光源、收集镜腔室和样品腔室。对极紫外辐照损伤测试系统进行了光学仿真,得到了像面在焦点处、像面离焦、收集镜平移、收集镜旋转等情况下的仿真结果。仿真结果表明:该极紫外辐照损伤测试系统焦深约为±3 mm;当像面上光斑半峰全宽基本不变时收集镜允许最大平移距离为±1.2 mm、允许最大转动转角为±0.08°;当收集镜小角度旋转时,像面上光斑沿单一方向平移,且平移距离和旋转角度成比例关系。该仿真研究对搭建极紫外辐照损伤测试系统、进行极紫外辐照损伤测试具有重要指导意义。
陈进新吴晓斌王宇
关键词:光学制造
海洋遥感星载双基地雷达LHCP天线摆放策略
2009年
针对全球定位系统(GPS)和地球低轨(LEO)飞行器组成星载双基地雷达进行海洋遥感探测问题,分析了不同轨道高度下镜面反射点的分布情况和不同GPS仰角下反射耀斑区的特征;据此进一步研究了LEO星载接收机的单根高增益左旋圆极化(LHCP)天线的摆放策略,并对中国未来进行双基地海洋遥感探测实验的可能卫星平台做了具体分析,给出了一种天线波束和指向的最佳组合.对于中国双基地雷达LHCP天线实验设计有参考价值.
张晓坤袁洪王宇
关键词:双基地雷达
近期光刻用ArF准分子激光技术发展被引量:9
2010年
193 nm ArF准分子激光光刻技术已广泛应用于90 nm以下节点半导体量产。分析了近期发展用于改进准分子激光性能的关键技术:主振-功率再生放大(MOPRA)结构,主振-功率振荡(MOPO)结构,主动光谱带宽稳定技术,先进的气体管理技术。对光刻用准分子激光光源技术发展趋势进行了简要的讨论。
游利兵周翊梁勖余吟山方晓东王宇
关键词:激光技术光刻
共3页<123>
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