潘健
- 作品数：4 被引量：5H指数：1
- 供职机构：浙江工业大学材料科学与工程学院更多>>
- 发文基金：浙江省自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺更多>>
- 磁控溅射制备CrMoAlN梯度薄膜的抗高温氧化性能被引量：1
- 2017年
- 采用非平衡磁控溅射离子镀技术在M2工具钢和单晶Si表面沉积CrMoAlN梯度薄膜,并在静态空气中进行600、700、800、900℃的高温氧化实验。采用XRD、SEM、XPS、纳米压痕和划痕实验等研究,结果表明:CrMoAlN薄膜呈现与CrN相似的面心立方结构,主要以CrN、AlN和γ-Mo_2N形态存在。经800℃氧化2 h后,CrMoAlN薄膜基本保持常温时的晶体结构与力学性能。随着氧化温度继续升高,薄膜表层的MoO3加速挥发,破坏由Cr_2O_3和Al_2O_3组成的致密氧化层,薄膜表面出现细小孔隙,薄膜氧化程度加剧。经900℃氧化2 h后,CrMoAlN薄膜的力学性能和膜/基结合强度均出现明显下降。
- 王宇星楼白杨潘健张侠
- 关键词：MO磁控溅射高温氧化
- 磁控溅射制备CrN和CrMoN涂层的微观结构和性能研究被引量：4
- 2017年
- 采用闭合场非平衡磁控溅射离子镀(CFUMSIP)技术在M2工具钢和Si片表面沉积CrN和CrMoN梯度涂层,利用SEM、EDS、XRD、纳米压痕仪和摩擦磨损试验仪研究了薄膜组织、成分、相结构、硬度和摩擦磨损性能。结果表明,CrMoN涂层和CrN涂层呈现出fcc结构,CrMoN涂层的表面比CrN涂层更为紧凑致密。CrMoN涂层的纳米硬度和弹性模量高于CrN涂层,CrMoN涂层的摩擦系数和磨损率均小于CrN涂层。
- 王宇星潘健张侠
- 关键词：CRN磁控溅射微观结构力学性能
- 一种多层薄膜的制备及其结合性能评价的方法
- 本发明公开了一种多层薄膜制备及结合性能评价方法，由H13基体经过非平衡离子溅射镀膜工艺分别沉积Cr结合层、CrN过渡层和CrMoAlN功能层制得Cr‑CrN‑CrMoAlN多层薄膜；设置Cr靶电流4A，Al靶电流6A，M...
- 楼白杨潘健
- 文献传递
- 一种评估多层薄膜膜基结合强度的方法
- 本发明公开了一种评估多层薄膜膜基结合强度的方法，在ABAQUS有限元软件下，建立CrN‑CrMoAlN梯度纳米多层薄膜双线性内聚力模型，通过纳米压痕仿真法来评估膜基结合性能。本发明中模型的参数，经过纳米压痕实验、划痕实验...
- 楼白杨潘健
- 文献传递
