周福强
- 作品数：3 被引量：16H指数：2
- 供职机构：哈尔滨工业大学深圳研究生院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金深圳市基础研究计划项目哈尔滨工业大学科研创新基金更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术更多>>
- 用于GaN基发光二极管的蓝宝石图形衬底制备进展被引量：13
- 2012年
- 近几年,图形化蓝宝石衬底因其作为GaN基发光二极管外延衬底,不仅能降低GaN外延薄膜的线位错密度,还能提高LED的光提取效率而引起国内外许多科研机构的广泛研究兴趣.本文综述了图形化蓝宝石衬底提高GaN基发光二极管性能的作用机理,重点评述了目前图形化蓝宝石衬底的制备方法(湿法刻蚀、干法刻蚀、固相反应)和图形尺寸(微米图形化、纳米图形化),分析比较了不同制备方法和图形尺寸制备蓝宝石图形衬底对GaN基发光二极管性能改善,最后针对蓝宝石图形衬底制备存在的问题对其今后的发展方向做出了展望.
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- 关键词：氮化镓发光二极管
- 压印法蓝宝石纳米图形衬底的制备及评价
- 蓝宝石由于其优良的物理化学综合性能,目前被广泛用作LED衬底,同时也是光学探测窗口常用材料之一。蓝宝石图形衬底,是指在蓝宝石表面制备出周期性亚微结构图案;其作为基于蓝宝石衬底发展而来的新型衬底,有望解决常规未处理的蓝宝石...
- 周福强
- 关键词：光学材料蓝宝石衬底纳米压印
- 文献传递
- 高效大功率LED用蓝宝石图形衬底制备的研究进展被引量：5
- 2012年
- 近年来,图形化的蓝宝石衬底在改善GaN晶体外延生长质量以及提升LED器件发光提取效率方面作用显著,引起了广泛的研究兴趣。综述了蓝宝石图形衬底的制备方法(干法刻蚀、湿法刻蚀、外延生长法),并较系统地介绍了蓝宝石图形衬底表面周期性图形参数(图形形貌、图案尺寸、图形占位比及其深度)对LED发光薄膜及器件的影响及其机理,最后对蓝宝石图形衬底的发展趋势进行了展望。
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- 关键词：蓝宝石图形衬底GANLED
