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王明权

作品数:3 被引量:3H指数:1
供职机构:中国电子科技集团公司更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇导轨
  • 2篇心轴
  • 2篇直线滚动导轨
  • 2篇丝杠
  • 2篇轴承
  • 2篇向心轴承
  • 2篇精密分度
  • 2篇滚动导轨
  • 2篇滚珠
  • 2篇滚珠轴承
  • 2篇闭环
  • 2篇闭环控制
  • 1篇直线度
  • 1篇误差分析
  • 1篇划片
  • 1篇划片机
  • 1篇工作台
  • 1篇差分

机构

  • 2篇中国电子科技...
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 3篇王明权
  • 1篇李战伟

传媒

  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2009
  • 1篇2007
  • 1篇2006
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
划片机工作台直线度的设计与实现被引量:3
2007年
依据IC晶圆的切割道和先进封装的工艺数据,分析划片机的误差,分配各功能部件的精度。依据桥形结构划片机的结构,建立工作台的力学模型,确定直线导轨的类型,研究直线导轨副工作台直线度的实现方法。
王明权李战伟
关键词:误差分析直线度
光栅测长闭环控制精密分度台
本发明公开了一种光栅测长闭环控制精密分度台,其特征在于它的结构包括:工作台下导轨、安装于工作台下导轨上的直线滚动导轨、与直线滚动导轨配合连接的工作台上导轨、通过支承架和丝杠支撑座分别固定于工作台下导轨上的向心轴承和角接触...
王宏智王明权王定临
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光栅测长闭环控制精密分度台
本发明公开了一种光栅测长闭环控制精密分度工作台,其特征在于它的结构包括:工作台下导轨、安装于工作台下导轨上的直线滚动导轨、与直线滚动导轨配合连接的工作台上导轨、通过支承架和丝杠支撑座分别固定于工作台下导轨上的向心轴承和角...
王宏智王明权王定临
文献传递
共1页<1>
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