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赵晓东

作品数：1 被引量：5H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇子机
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子机械
  • 1篇微电子机械系...
  • 1篇微光电子机械...
  • 1篇晶圆
  • 1篇晶圆级封装
  • 1篇绝缘体上硅
  • 1篇光电
  • 1篇光电子
  • 1篇封装

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇葛劢冲
  • 1篇赵晓东

传媒

  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2004
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
晶圆键合技术与微电子机械系统新进展被引量：5
2004年
概述了晶圆键合技术穴WB雪和微电子机械系统穴MEMS雪的新进展。介绍了晶圆键合工艺、技术要求、应用选择以及对MEMS的作用;展示了MEMS制造技术和应用前景。
葛劢冲赵晓东
关键词：绝缘体上硅微电子机械系统微光电子机械系统晶圆级封装
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共1页<1>
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