张杰
- 作品数：3 被引量：9H指数：2
- 供职机构：哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院超精密光电仪器工程研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程更多>>
- 自聚焦透镜的三维相干成像特性分析被引量：5
- 2002年
- 运用傅里叶光学方法,分析并推导了自聚焦透镜的三维相干成像公式。研究表明,虽然自聚焦透镜中介质折射率是径向渐变折射率分布,不同于薄透镜中的均匀分布,但是由于它的三维相干成像性质却类似于薄透镜,从而使自聚焦透镜可以在成像和光学信息处理系统中有效地代替薄透镜,实现光学系统的微型化。
- 谭久彬张杰
- 关键词：自聚焦透镜梯度折射率傅里叶光学
- 自聚焦共焦式微小内腔体探测技术
- 2003年
- 系统用自聚焦透镜代替共焦扫描显微镜中的聚焦透镜 ,将自聚焦透镜体积小的特点与共焦显微技术的轴向高分辨力和绝对位置跟踪特性有机结合 ,具有测头微小型化 ,高的轴向分辨力、较大倾斜表面的瞄准能力、对突跳位置的绝对跟踪能力等特点。选用PZT作为轴向扫描驱动元件 (线性范围± 5 μm ,每个脉冲 2nm进给 ) ,用高精度电容位移传感器作为位置跟踪元件 (线性范围± 5 μm ,分辨力 1nm)。对 2 0°角度块进行测试实验表明 ,在测头直径为 1mm的情况下 ,系统对 2 0°倾斜度以内的斜面轮廓的探测轴向分辨力可达 10nm。
- 谭久彬张杰
- 关键词：物理光学自聚焦透镜高分辨力非接触测量
- 微型差动式共焦自聚焦光聚焦探测系统被引量：5
- 2003年
- 为解决微小内轮廓尺寸为代表的微小尺寸的非接触式超精密测量问题 ,提出了将自聚焦透镜体积小的特点与共焦显微技术的高分辨率和绝对位置跟踪特性相结合的差动式自聚焦共焦微型显微技术的光探测技术 ,建立了相应的传感系统。介绍了系统的工作原理和构成 ,自聚焦透镜测头直径为 1mm ,两个探测器差动设置 ,不但消除了光源的光强漂移和探测器的电子漂移产生的共模噪声 ,提高了测量信噪比 ,而且有效地提高了系统的轴向分辨率。初步实验表明 ,系统轴向分辨率在倾斜度小于 2 0度的范围内可达 5nm。
- 谭久彬张杰
- 关键词：光学测量自聚焦透镜高分辨率非接触测量
