张涛
- 作品数：1 被引量：4H指数：1
- 供职机构：大连理工大学物理与光电工程学院近场光学与纳米技术研究所更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 原子力显微镜结合拉曼光谱仪对不同氧分压制备ZnO薄膜性能研究被引量：4
- 2008年
- 利用磁控溅射技术,在硅基底上(100)成功制备了ZnO薄膜。分别利用原子力显微镜和拉曼光谱仪对其表面形貌、颗粒度、粗糙度和拉曼光谱性能进行表征、分析,两种方法所得结论基本吻合。研究结果表明,ZnO薄膜结晶度良好,颗粒分布均匀,具有良好的c轴取向。原子力显微镜表征结果表明,氧分压小于50%时,ZnO颗粒度和RMS粗糙度随通入氧气分压增加而减小:氧分压大于50%时,ZnO颗粒度和RMS粗糙度趋近于一常数。拉曼光谱表征结果表明,ZnO的拉曼特征峰E2(high)表现出尺寸效应,即随氧气增加(小于81.25%)ZnO颗粒度减小,使特征峰的峰位向高频移动,特征峰的半高宽增大;ZnO薄膜内部张力随氧气分压增加(小于81.25%)而减小。
- 张涛潘石刘明王贺陶赵万利
- 关键词：ZNO薄膜原子力显微镜拉曼光谱
