2025年1月17日
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何熙
作品数:
3
被引量:17
H指数:1
供职机构:
天津大学材料科学与工程学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
罗仲梓
厦门大学萨本栋微米纳米科学技术...
张春权
厦门大学萨本栋微米纳米科学技术...
吕文龙
厦门大学萨本栋微米纳米科学技术...
方辉
厦门大学物理与机电工程学院物理...
谷丹丹
厦门大学
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罗仲梓
供职机构:厦门大学
研究主题:射频MEMS开关 PECVD 键合 芯片 微通道
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张春权
供职机构:厦门大学
研究主题:键合 聚二甲基硅氧烷 微电子机械系统 PECVD PDMS
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陈松岩
供职机构:厦门大学
研究主题:锗 键合 键合界面 INP SI
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谷丹丹
供职机构:厦门大学
研究主题:微机电系统 压力传感器 液相 分离式 硅基
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供职机构
所获资助
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方辉
供职机构:厦门大学物理与机电工程学院
研究主题:氧化铟锡薄膜 氧化铟锡 压电电阻 红外 互连
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供职机构
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吕文龙
供职机构:厦门大学
研究主题:微电铸 悬臂梁 谐振式压力传感器 镍 阳极键合
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供职机构
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