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毛旭
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中国科学院半导体研究所
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合作作者
杨富华
中国科学院半导体研究所
杨晋玲
中国科学院半导体研究所
王晓东
中国科学院半导体研究所
魏伟伟
中国科学院半导体研究所
赵永梅
中国科学院半导体研究所
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杨富华
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:淀积 相变存储器 电极 纳米尺寸 谐振器
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杨晋玲
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:谐振器 圆片级 电极 谐振结构 淀积
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王晓东
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:淀积 相变存储器 纳米尺寸 相变材料 微装配
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魏伟伟
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:可变光衰减器 光孔 式微 洛伦兹力 磁场
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赵永梅
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:碳化硅 3C-SIC 衬底 刻蚀 碳化硅材料
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申超
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:测量系统 物镜 自旋 荧光 消色差
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杨香
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:碳化硅 硅基 刻蚀 相变存储器 沟槽
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李兆峰
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:微环谐振腔 场效应晶体管 硅 激光器 晶体管
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颜伟
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:晶体管 场效应晶体管 抗蚀剂 天线 ALGAN/GAN_HEMT
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王晓晖
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:氮化镓 GAN MOVPE MOVPE生长 英文
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