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许鹏程
作品数:
96
被引量:52
H指数:5
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
自动化与计算机技术
理学
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合作作者
李昕欣
中国科学院研究生院
于海涛
中国科学院上海微系统与信息技术...
陈滢
中国科学院上海微系统与信息技术...
徐甲强
中国科学院上海微系统与信息技术...
徐铁刚
中国科学院上海微系统与信息技术...
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李昕欣
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 传感器 硅 硅片 压阻
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于海涛
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微悬臂梁 悬臂梁 谐振式 锁相环 传感器
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陈滢
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:加热元件 微悬臂梁 传感器 压阻 金属氧化物
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徐铁刚
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:进样 传感器 PCR方法 高粘度 芯片结构
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徐甲强
供职机构:上海大学
研究主题:气体传感器 气敏材料 气敏 气敏性能 纳米材料
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李明
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:芯片 观测孔 激光直写 TEM 高熵合金
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张源
供职机构:上海大学
研究主题:金属氧化物 复合材料 气体传感器 气敏材料 石英晶体微天平
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向群
供职机构:上海大学理学院化学工程与工艺系
研究主题:气体传感器 气敏性能 萃取 氧化锌 气敏
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潘庆谊
供职机构:上海大学
研究主题:气敏性能 气敏 溶胶-凝胶法 氧化铟 气敏元件
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李伟
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:芯片 折射率 弹性梁 电磁波 衬底
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