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刘业异

作品数:54 被引量:73H指数:4
供职机构:中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金:中国科学院知识创新工程国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信自动化与计算机技术生物学机械工程更多>>

领域

  • 52个电子电信
  • 40个机械工程
  • 37个自动化与计算...
  • 28个生物学
  • 28个理学
  • 22个一般工业技术
  • 15个文化科学
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  • 7个化学工程
  • 7个航空宇航科学...
  • 6个交通运输工程
  • 6个自然科学总论
  • 5个建筑科学
  • 5个轻工技术与工...
  • 5个核科学技术
  • 4个天文地球
  • 4个农业科学

主题

  • 46个光刻
  • 40个光刻机
  • 36个投影光刻
  • 34个掩模
  • 30个生物芯片
  • 30个激光
  • 29个图像
  • 27个衍射
  • 27个光学
  • 26个计算机
  • 25个微米
  • 24个投影光刻机
  • 24个物镜
  • 23个光电
  • 20个电子束曝光
  • 19个电路
  • 18个调焦
  • 17个电子束曝光机
  • 15个电机
  • 15个调平

机构

  • 60个中国科学院
  • 4个中国科学院研...
  • 4个中国科学院微...
  • 3个电子科技大学
  • 3个四川大学
  • 2个清华大学
  • 2个天津大学
  • 2个西安工业大学
  • 2个中国工程物理...
  • 2个中国科学技术...
  • 2个中国科学院微...
  • 1个北京大学
  • 1个兰州大学
  • 1个南京理工大学
  • 1个西北核技术研...
  • 1个浙江大学
  • 1个四川农业大学
  • 1个西安工业学院
  • 1个西南科技大学
  • 1个中北大学

资助

  • 25个国家自然科学...
  • 19个国家高技术研...
  • 14个中国科学院知...
  • 10个国家重点基础...
  • 10个国家重点实验...
  • 9个中国科学院知...
  • 7个国家科技重大...
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  • 7个中国科学院西...
  • 6个“八五”国家...
  • 6个国家教育部博...
  • 5个中国科学院“...
  • 4个中科院创新基...
  • 4个中国科学院重...
  • 3个国防科技技术...
  • 3个国家科技攻关...
  • 3个成都市科技攻...
  • 2个教育部科学技...
  • 2个中国博士后科...
  • 2个四川省科技支...

传媒

  • 40个光电工程
  • 38个微细加工技术
  • 25个电子工业专用...
  • 24个微纳电子技术
  • 22个光学学报
  • 19个第十一届全国...
  • 16个第十二届全国...
  • 14个光子学报
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  • 11个第十二届全国...
  • 10个光学精密工程
  • 9个中国激光
  • 8个物理学报
  • 8个物理
  • 8个激光与光电子...
  • 7个应用光学
  • 6个光电子.激光
  • 6个半导体技术
  • 6个电子设计工程

地区

  • 55个四川省
  • 4个北京市
  • 2个陕西省
  • 1个西藏
62 条 记 录,以下是 1-10
胡松
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姚汉民
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻分辨力 投影光刻物镜 原子束 光刻 光子晶体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐小萍
供职机构:西藏自治区气候中心
研究主题:生物芯片 纳米光刻 掩模 光刻分辨力 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗正全
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:生物芯片 光刻机 扫描仪 电子束曝光机 DSP
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈伟明
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 套刻精度 图像处理 掩模 投影光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
余国彬
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻分辨力 相机 投影光刻物镜 深空探测 投影光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王淑蓉
供职机构:西安工业大学计算机科学与工程学院
研究主题:生物芯片 电子束曝光机 SERVER 系统设计 UML
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵立新
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王肇志
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:电子束曝光机 光刻机 片夹 生物芯片 计算机控制系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈兴俊
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:生物芯片 光刻设备 光刻机 光源 图像处理
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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