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刘业异
作品数:
54
被引量:73
H指数:4
供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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发文基金:
中国科学院知识创新工程
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
生物学
机械工程
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合作作者
胡松
中国科学院光电技术研究所
姚汉民
中国科学院光电技术研究所
唐小萍
中国科学院光电技术研究所
罗正全
中国科学院光电技术研究所
陈伟明
中国科学院光电技术研究所
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胡松
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
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研究领域
姚汉民
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻分辨力 投影光刻物镜 原子束 光刻 光子晶体
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所获资助
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唐小萍
供职机构:西藏自治区气候中心
研究主题:生物芯片 纳米光刻 掩模 光刻分辨力 光刻机
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研究领域
罗正全
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:生物芯片 光刻机 扫描仪 电子束曝光机 DSP
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陈伟明
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 套刻精度 图像处理 掩模 投影光刻机
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供职机构
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余国彬
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻分辨力 相机 投影光刻物镜 深空探测 投影光刻
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研究领域
王淑蓉
供职机构:西安工业大学计算机科学与工程学院
研究主题:生物芯片 电子束曝光机 SERVER 系统设计 UML
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所获资助
研究领域
赵立新
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
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所获资助
研究领域
王肇志
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:电子束曝光机 光刻机 片夹 生物芯片 计算机控制系统
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所获资助
研究领域
陈兴俊
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:生物芯片 光刻设备 光刻机 光源 图像处理
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