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4 条 记 录,以下是 1-4
蒋世磊
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:光学系统 干涉光刻 光学设计 光阑 光学镜头
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
魏全忠
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光学系统 光刻物镜 投影光刻物镜 亚微米 成象
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
伍凡
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:干涉仪 面形 光学元件 非球面 球面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
叶红伟
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:工艺技术 膜厚均匀性 镀膜技术 变焦系统 光学系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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