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郭丹
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 原子力显微镜 抛光液 扭转振动 轴承
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路新春
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
雒建斌
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘书海
供职机构:中国石油大学(北京)机械与储运工程学院
研究主题:清管器 悬垂 润滑剂 加载系统 加载
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
解国新
供职机构:清华大学
研究主题:自润滑复合材料 润滑材料 微胶囊 自润滑材料 复合材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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