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周国安
作品数:
24
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H指数:5
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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发文基金:
电子信息产业发展基金
北京市教育委员会科技发展计划
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相关领域:
电子电信
建筑科学
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合作作者
詹阳
中国电子科技集团公司第四十五研...
柳滨
中国电子科技集团公司第四十五研...
王学军
北京信息科技大学
种宝春
中国电子科技集团公司第四十五研...
李伟
中国电子科技集团公司第四十五研...
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詹阳
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP 化学机械平坦化 抛光垫 承载器 ZETA电位
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柳滨
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 化学机械平坦化 抛光液 半导体材料
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王学军
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:化学机械抛光 CMP 化学机械平坦化 光学 抛光液
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种宝春
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:多线切割机 CMP 化学机械抛光 砂浆 动态特性
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李伟
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 化学机械平坦化 CMP设备 抛光
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徐存良
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP 化学机械平坦化 CMP设备 RCA 湿法清洗
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王东辉
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 氮化镓 半导体材料 碳化硅
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邱勤
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:铜 ULSI 化学机械抛光 抛光液
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刘多勤
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光垫
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张志军
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:晶片 倒角 CMP 铜 抛光垫
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