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成海涛

作品数：12 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术更多>>

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杨恒
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴燕红
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 电极 应力传感器 空间电荷区 多晶硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戴斌
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：空间电荷区 电极 纳米 衬底 场效应晶体管
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李昕欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 传感器 硅 硅片 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴紫阳
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：光刻胶 悬架 光刻 胶膜 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
丁萃
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：衬底 掩模 硅衬底 各向异性 空间电荷区
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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