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于连忠
作品数:
46
被引量:4
H指数:1
供职机构:
中国科学院地质与地球物理研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
理学
文化科学
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合作作者
孙晨
中国科学院地质与地球物理研究所
杨长春
中国科学院地质与地球物理研究所
李航
中国科学院地质与地球物理研究所
鲍敏杭
复旦大学
胡宗达
中国科学院地质与地球物理研究所
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孙晨
供职机构:中国科学院地质与地球物理研究所
研究主题:弹性梁 MEMS 盖板 加速度计 高灵敏度
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杨长春
供职机构:中国科学院地质与地球物理研究所
研究主题:加速度计 波阻抗反演 正则化 射线追踪 数值模拟
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李航
供职机构:中国科学院地质与地球物理研究所
研究主题:盖板 锚点 MEMS陀螺仪 MEMS加速度计 连接梁
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鲍敏杭
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅 压力传感器 传感器 微机械 各向异性腐蚀
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胡宗达
供职机构:中国科学院地质与地球物理研究所
研究主题:锚点 加速度计 传动 MEMS陀螺仪 MEMS加速度计
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汤亮
供职机构:中国科学院声学研究所
研究主题:薄膜体声波谐振器 压电薄膜 射频微机电系统 硅 原子钟
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王言
供职机构:复旦大学
研究主题:微机械 超声换能器 微机电技术 压电层 压力传感器
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张忠山
供职机构:苏州大学
研究主题:碱金属 芯片级 原子钟 惰性气体 谐振腔
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乔东海
供职机构:苏州大学
研究主题:硅 薄膜体声波谐振器 振动膜 原子钟 运算跨导放大器
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吴宪平
供职机构:复旦大学信息科学与工程学院微电子学系
研究主题:压力传感器 硅 扩散硅压力传感器 传感器 各向异性腐蚀
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