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作品数：17 被引量：44H指数：4
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  • 27个北京市
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周旗钢
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅单晶 硅片 300MM硅片 单晶硅 直拉硅单晶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张果虎
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅单晶 直拉硅单晶 硅 氧 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
屠海令
供职机构：国家工程研究中心
研究主题：硅 单晶 硅单晶 存储器 底电极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
方锋
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅单晶 磁体 热屏 脆性断裂 半导体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴志强
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅单晶 直拉硅单晶 热屏 单晶炉 大直径
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冯泉林
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅片 300MM硅片 硅片表面 外延片 氧沉淀
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秦福
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅单晶 坩埚 硅 直拉硅单晶 单晶硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
库黎明
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅片 抛光 300MM硅片 平整度 硅片表面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王敬
供职机构：清华大学
研究主题：沟道 半导体结构 场效应晶体管 晶体管 栅结构
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闫志瑞
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅片 硅片清洗 300MM硅片 硅片表面 清洗工艺
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