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杨进

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供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
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徐维江
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：镀银 电容 匹配性 匹配器 等离子刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郜晨希
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：真空规 电极 压力传感器 膜片 金属电极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘金虎
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：芯片 进样 键合 微通道 热塑性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李勇滔
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：等离子体 SUB 硅衬底 射频电源 离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
解婧
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：氧化锌薄膜 共掺 受主 原子层沉积 掺杂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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