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陈颖慧

作品数：38 被引量：48H指数：6
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
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唐彬
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度计 极板 微加速度计 石英 结构层
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彭勃
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度计 结构层 掩膜 石英 微加速度计
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张照云
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
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苏伟
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度计 石英 键合 刻蚀 结构层
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熊壮
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：石英 加速度计 易加工 极板 振梁加速度计
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高杨
供职机构：重庆大学
研究主题：微电子机械系统 薄膜体声波谐振器 体声波 MEMS FBAR
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郑英彬
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：MEMS 微电子机械系统 太赫兹 滤波器 键合
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高扬
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：硅片 单片集成技术 金属连线 金属电极 结构层
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施志贵
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：硅 微电子机械系统 刻蚀 掩膜 结构层厚度
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王旭光
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：悬臂梁 极板 键合 超快激光 加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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