2025年6月26日
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周再发
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东南大学
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合作作者
李伟华
东南大学电子科学与工程学院微电...
黄庆安
教育部
王雷
东南大学
张璐
东南大学
刘海韵
东南大学
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李伟华
供职机构:东南大学
研究主题:MEMS 多晶硅 微机电系统 残余应力 绝缘衬底
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黄庆安
供职机构:东南大学
研究主题:MEMS 风速风向传感器 无源无线 微机电系统 微电子机械系统
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王雷
供职机构:沈阳工程学院
研究主题:汽轮机 残余应力 支持向量机 硅材料 绝缘衬底
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张璐
供职机构:东南大学
研究主题:硅材料 绝缘衬底 静电驱动 弯曲挠度 匿名通信
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刘海韵
供职机构:东南大学
研究主题:多晶硅 残余应力 绝缘衬底 热膨胀系数 偏转
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孙超
供职机构:东南大学
研究主题:残余应力 无轴承异步电机 泡沫混凝土 城市路网 多层薄膜材料
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蒋明霞
供职机构:东南大学
研究主题:衬底 多晶硅 残余应力 偏转 测量方法
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张晓强
供职机构:东南大学
研究主题:残余应力 偏转角 偏转 游标 测量方法
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张卫青
供职机构:东南大学
研究主题:多晶硅 多晶硅材料 热膨胀系数 绝缘衬底 测试设备
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张宇
供职机构:东南大学
研究主题:非小细胞肺癌 纳米 普鲁士蓝 表面修饰 模拟酶
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