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宋硕
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4
被引量:1
H指数:1
供职机构:
哈尔滨工业大学
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自动化与计算机技术
医药卫生
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合作作者
董岳
哈尔滨工业大学
李理
哈尔滨工业大学
刘杨
哈尔滨工业大学
谭久彬
哈尔滨工业大学
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董岳
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:超精密 被控对象 垂向 长焦 测量信号
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李理
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:超精密 逆模型 垂向 被控对象 光刻机
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刘杨
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:超精密 光刻机 工件台 物理仿真 气浮
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相关人物
供职机构
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谭久彬
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:隔振器 精密测量仪器 转子 精密测量技术 隔振技术
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