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张晨辉
作品数:
116
被引量:123
H指数:5
供职机构:
清华大学
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
北京市自然科学基金
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一般工业技术
金属学及工艺
机械工程
化学工程
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合作作者
雒建斌
清华大学机械工程学院摩擦学国家...
刘大猛
清华大学
王婷
清华大学
王岩
清华大学
路新春
清华大学机械工程学院摩擦学国家...
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雒建斌
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
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刘大猛
供职机构:清华大学
研究主题:超高真空 激子 换热器 氦气 冷头
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王婷
供职机构:清华大学
研究主题:超高真空 换热器 荧光增强 冷头 纳米银
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王岩
供职机构:清华大学
研究主题:移动终端 高温气冷堆 宽频带 膜萃取 抗磨剂
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路新春
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
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李津津
供职机构:清华大学
研究主题:探针 抗冰 纳米发电机 低摩擦系数 纳米片
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戴媛静
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 水性 抛光 金属加工液 抛光速率
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温诗铸
供职机构:清华大学
研究主题:润滑 薄膜润滑 润滑剂 弹流润滑 摩擦学
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刘宇宏
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 抛光液 摩擦副表面 铜布线 润滑材料
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郭丹
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 抛光液 原子力显微镜 扭转振动 轴承
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