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李铁

作品数：345 被引量：137H指数：6
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
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王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
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王翊
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 红外气体传感器 红外探测器 微机械热电堆 红外光源
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刘延祥
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：红外气体传感器 红外探测器 红外光源 金字塔结构 中心波长
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周宏
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：红外气体传感器 红外光源 中心波长 探测器芯片 红外特征
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈鸿烈
供职机构：南京航空航天大学
研究主题：磁控溅射 太阳电池 多晶硅 巨磁电阻 多晶硅薄膜
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高安然
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅纳米线 生物传感器 场效应晶体管 湿法腐蚀 液滴
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邹世昌
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子注入 离子束 硅 SOI 巨磁电阻
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王文辉
供职机构：浙江大学
研究主题：硅 各向异性腐蚀 波导 制作方法 玻璃衬底
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俞骁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：各向异性腐蚀 单晶硅 硅片表面 纳米 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊斌
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
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