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熊斌

作品数：218 被引量：195H指数：7
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
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王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐德辉
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 磁场传感器 键合 热电 干法刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
车录锋
供职机构：浙江大学
研究主题：弹性梁 电容式加速度传感器 微机械陀螺 加速度传感器 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冯飞
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：色谱柱 热导检测器 固定相 微机电系统 气相色谱柱
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马颖蕾
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：弹性梁 硅 键合工艺 透镜 塑性形变
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴国强
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 磁场传感器 感应电动势 干法刻蚀 温度影响
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
焦继伟
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械陀螺 制作方法 MEMS 微机电系统 真空封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李铁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘松
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：磁场传感器 谐振结构 磁场测量 静电力 静电
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王翊
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 红外气体传感器 红外探测器 微机械热电堆 红外光源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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