2025年1月22日
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王娟
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河北工业大学
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合作作者
刘玉岭
河北工业大学电子信息工程学院
檀柏梅
河北工业大学信息工程学院微电子...
李薇薇
河北工业大学信息工程学院微电子...
张万明
河北工业大学
张建辉
河北工业大学
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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所获资助
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檀柏梅
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
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李薇薇
供职机构:河北工业大学信息工程学院
研究主题:CMP ULSI 超大规模集成电路 化学机械抛光 化学机械全局平面化
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张万明
供职机构:河北工业大学
研究主题:蝶阀 传送装置 齿条 称重 侧体
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宋阳
供职机构:河北工业大学
研究主题:蝶阀 传送装置 齿条 称重 侧体
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张建辉
供职机构:河北工业大学
研究主题:TRIZ 架桥机 硬密封蝶阀 蝶板 导梁
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周建伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 硅溶胶 抛光液 硅晶片
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张建新
供职机构:天津工业大学
研究主题:等离子喷涂 反应等离子喷涂 复合粉 涂层 TIO
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牛新环
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
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杨欣霖
供职机构:河北工业大学
研究主题:蝶阀 大车 齿条 侧体 不完全齿轮
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