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冯日盛
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
中国计量学院机电工程学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
王小飞
中国计量学院机电工程学院
李琰
中国计量学院机电工程学院
李森林
中国计量学院机电工程学院
韩建强
中国计量学院机电工程学院
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浙江省
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李森林
供职机构:中国计量学院机电工程学院
研究主题:硅 谐振式传感器 现场可编程门阵列 等精度频率计 压阻检测
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研究领域
王小飞
供职机构:中国计量学院机电工程学院
研究主题:PECVD法 氮化硅薄膜 淀积 杨氏模量 力学特性
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
韩建强
供职机构:中国计量学院机电工程学院
研究主题:微电子机械系统 硅尖 碘 过饱和 各向异性腐蚀
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
李琰
供职机构:中国计量学院机电工程学院
研究主题:硅 谐振式传感器 现场可编程门阵列 等精度频率计 压阻检测
发表作品
相关人物
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