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屈新萍
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复旦大学
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合作作者
茹国平
复旦大学信息科学与工程学院电子...
李炳宗
复旦大学信息科学与工程学院电子...
蒋玉龙
复旦大学
张卫
复旦大学
于浩
复旦大学
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茹国平
供职机构:复旦大学微电子研究院
研究主题:固相反应 微电子 NISI 硅化物 SI
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李炳宗
供职机构:复旦大学
研究主题:固相反应 硅化物 自对准 NISI 微电子
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蒋玉龙
供职机构:复旦大学
研究主题:微电子 金属栅 势垒 NISI 肖特基接触
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张卫
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 存储器 晶体管 电极 隧穿
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于浩
供职机构:复旦大学
研究主题:金属 存储器 微电子 锗 测量信号
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蒋玉龙
供职机构:复旦大学微电子研究院
研究主题:NISI 固相反应 硅化物 课堂 超浅结
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谢琦
供职机构:复旦大学
研究主题:扩散阻挡层 铜互连 铜 微电子 集成电路
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供职机构:复旦大学
研究主题:晶体管 绝缘层上硅 掺杂 沟道 正反馈
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陈韬
供职机构:复旦大学
研究主题:氧化锌纳米棒 微电子 场效应晶体管 阳极氧化铝模板 旋涂
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陆冰睿
供职机构:复旦大学
研究主题:电子束光刻 光刻胶 纳米 旋涂 石墨烯
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