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张锦

作品数:135 被引量:216H指数:8
供职机构:西安工业大学光电工程学院更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家重点实验室开放基金西安工业大学校长基金更多>>
相关领域:电子电信机械工程理学一般工业技术更多>>

领域

  • 56个理学
  • 51个电子电信
  • 47个机械工程
  • 45个一般工业技术
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  • 31个化学工程
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  • 6个经济管理
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主题

  • 42个激光
  • 40个光刻
  • 40个光学
  • 33个红外
  • 32个透镜
  • 31个衍射
  • 31个光栅
  • 30个光谱
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  • 28个纳米
  • 27个全息
  • 26个刻蚀
  • 26个光束
  • 26个分辨率
  • 25个图像
  • 22个电路
  • 22个激光干涉
  • 18个衍射光学
  • 18个衍射效率
  • 17个等离子体

机构

  • 28个西安工业大学
  • 27个中国科学院
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  • 5个西安工业学院
  • 4个西安电子科技...
  • 4个中国科学院研...
  • 3个宁波大学
  • 3个四川师范学院
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  • 2个电子科技大学
  • 2个兰州大学
  • 2个西安交通大学
  • 2个西北工业大学
  • 2个教育部
  • 2个邵阳学院
  • 2个悉尼大学
  • 2个中国石油化工...
  • 1个长春理工大学
  • 1个北京邮电大学
  • 1个成都科技大学

资助

  • 50个国家自然科学...
  • 29个国家重点实验...
  • 19个国家重点基础...
  • 18个西安工业大学...
  • 17个国家高技术研...
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  • 13个陕西省教育厅...
  • 11个国家教育部博...
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传媒

  • 35个光电工程
  • 34个光子学报
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  • 12个物理学报
  • 10个Journa...
  • 10个光学仪器

地区

  • 31个四川省
  • 28个陕西省
  • 4个北京市
  • 3个浙江省
  • 1个湖南省
  • 1个吉林省
  • 1个重庆市
  • 1个河北省
71 条 记 录,以下是 1-10
冯伯儒
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻 相移掩模 光刻系统 干涉光刻 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蒋世磊
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:光学系统 干涉光刻 光学设计 光阑 光学镜头
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙国斌
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:光学设计 衍射光学元件 光阑 多光束干涉 磁控溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
侯德胜
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:相移掩模 光刻 激光直写 光刻掩模 衰减相移掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘娟
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:掩模 高速通信 光刻技术 光刻系统 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宗德蓉
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:声光调制器 光刻系统 干涉光刻 声光器件 超声频率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈芬
供职机构:宁波大学信息科学与工程学院
研究主题:立体视频 视点 图像 立体图像 结构相似度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
弥谦
供职机构:西安工业大学
研究主题:离子能量 类金刚石膜 离子镀 类金刚石薄膜 光学薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周崇喜
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光束整形 半导体激光器 微透镜阵列 透镜 光纤耦合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭永康
供职机构:四川大学物理科学与技术学院
研究主题:光刻 全息图 惯性约束聚变 分数傅里叶变换 干涉光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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