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宋朝晖

作品数：6 被引量：55H指数：5
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>

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地区

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共 14 条 记 录，以下是 1-10
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李昕欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张鲲
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：加速度传感器 微机械 压阻 加速度计 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
焦继伟
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械陀螺 制作方法 MEMS 微机电系统 真空封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨恒
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
车录锋
供职机构：浙江大学
研究主题：弹性梁 电容式加速度传感器 微机械陀螺 加速度传感器 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈雪萌
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：压阻 微机械陀螺 加速度计 陀螺 深反应离子刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
程保罗
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：加速度传感器 静电驱动 绝缘工艺 微机电系统 反应离子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戈肖鸿
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 微机械 互连 多晶硅 各向异性腐蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李欣昕
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅纳米线 压阻式加速度传感器 微机械 振动频率 深反应离子刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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