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张云鹏

作品数：5 被引量：3H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
相关领域：电子电信电气工程更多>>

合作作者

领域

  • 7个电子电信
  • 2个电气工程
  • 1个金属学及工艺
  • 1个机械工程

主题

  • 6个光刻
  • 3个电机
  • 3个电控
  • 3个电控系统
  • 3个伺服
  • 3个伺服系统
  • 3个光刻机
  • 3个非平面
  • 3个PID算法
  • 3个测量系统
  • 2个电机驱动
  • 2个电机驱动器
  • 2个驱动器
  • 2个微小孔
  • 2个小孔
  • 2个晶圆
  • 2个混合式
  • 2个光强
  • 2个仿真
  • 2个非接触

机构

  • 7个中国电子科技...
  • 1个中国电子科技...

传媒

  • 7个电子工业专用...
  • 1个科技资讯
共 7 条 记 录，以下是 1-7
蒲继祖
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：瓷片 LTCC 线性电机 丝网印刷 低温共烧陶瓷
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
贾亚飞
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：测量系统 光刻机 非接触 仿真 光强
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋波
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：步进电机驱动器 步进电机 混合式 驱动器 程序控制
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨建章
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：光刻机 测量系统 XY平台 显微镜 调焦机构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
韦薇
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：步进电机驱动器 步进电机 混合式 驱动器 程序控制
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢秀镯
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：PID算法 刚度 非平面 光刻 键合机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李霖
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：曝光机 找平 光刻机 分辨率 控制研究
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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