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施志贵
作品数:
52
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H指数:6
供职机构:
中国工程物理研究院电子工程研究所
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中国工程物理研究院科学技术发展基金
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相关领域:
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合作作者
彭勃
中国工程物理研究院电子工程研究...
张照云
中国工程物理研究院电子工程研究...
高杨
中国工程物理研究院电子工程研究...
席仕伟
中国工程物理研究院电子工程研究...
苏伟
中国工程物理研究院电子工程研究...
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张照云
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:石英 极板 加速度计 刻蚀 结构层
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彭勃
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 结构层 掩膜 石英 微加速度计
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高杨
供职机构:重庆大学
研究主题:微电子机械系统 薄膜体声波谐振器 体声波 MEMS FBAR
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席仕伟
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:微电子机械系统 MEMS 飞片 声表面波滤波器 干法刻蚀
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苏伟
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 石英 键合 刻蚀 结构层
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研究领域
郑英彬
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 太赫兹 滤波器 键合
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何晓平
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:微加速度计 加速度计 灵敏度 谐振 刚度
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王亚军
供职机构:中国工程物理研究院
研究主题:折叠波导 折叠波导行波管 太赫兹 行波管 折叠波导慢波结构
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张茜梅
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:压敏电阻 加速度传感器 微机械加速度传感器 微电子机械系统 键合
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研究领域
陈颖慧
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:结构层 微加速度计 微电子机械系统 声表面波滤波器 尺寸控制
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