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李金鹏
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4
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H指数:1
供职机构:
中国科学院研究生院
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合作作者
王跃林
中国科学院上海微系统与信息技术...
张颖
中国科学院上海微系统与信息技术...
焦继伟
中国科学院上海微系统与信息技术...
段飞
中国科学院大学
王育才
中国科学院大学
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张颖
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械陀螺 微机械加工 固有频率 摄动法 统计分析
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焦继伟
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械陀螺 制作方法 MEMS 微机电系统 真空封装
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王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
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钱清
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 块结构 X轴 硅微机械陀螺 硅晶圆
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王育才
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题:悬臂梁 块结构 各向异性腐蚀 微加速度计 微机械加工
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段飞
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 块结构 X轴 硅微机械陀螺 硅晶圆
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宓斌玮
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:真空封装 微机械陀螺 悬臂梁 块结构 MEMS器件
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研究领域
宓彬伟
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题:惯性器件 读出电路设计 相关双采样 微电子机械系统 电荷转移
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