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曲子濂

作品数：15 被引量：4H指数：1
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程金属学及工艺更多>>

合作作者

领域

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主题

  • 12个涡流传感器
  • 12个膜厚
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  • 12个化学机械抛光
  • 12个机械抛光
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  • 10个厚度
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机构

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资助

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传媒

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  • 2个材料研究学报
  • 2个兵工学报

地区

  • 14个北京市
共 14 条 记 录，以下是 1-10
路新春
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵乾
供职机构：清华大学
研究主题：电极 隐身 晶圆 图像增强 涡流传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孟永钢
供职机构：清华大学
研究主题：电流变液 隐身 气体润滑 金属 脱附
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵德文
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 解析解 晶圆 基板 拉拔
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何永勇
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 故障诊断 化学机械抛光 抛光液 旋转机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李弘恺
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 CMP 控制系统 膜厚 电涡流传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王同庆
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 CMP 抛光液 抛光垫
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
田芳馨
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 化学机械抛光 工业以太网 CMP 工控机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
余强
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 膜厚 圆台 全氟化合物 涡流传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
乐承宁
供职机构：清华大学
研究主题：涡流传感器 电涡流 测量方法 信号频率 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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