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王俊杰

作品数：4 被引量：9H指数：2
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

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领域

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机构

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地区

  • 4个上海市
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共 6 条 记 录，以下是 1-6
车录锋
供职机构：浙江大学
研究主题：弹性梁 电容式加速度传感器 微机械陀螺 加速度传感器 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴浩
供职机构：中国科学院
研究主题：径级结构 物种组成 MEMS 动力学方程 电容式加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李玉芳
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：电容式加速度传感器 检波电路 硅 键合 太阳电池阵列
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢铮
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：高Q值 静电 微陀螺 微机械陀螺 自激振动
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊斌
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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