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卜俊鹏
作品数:
25
被引量:28
H指数:4
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
郑红军
中国科学院半导体研究所
惠峰
中国科学院半导体研究所
朱蓉辉
中国科学院半导体研究所
何宏家
中国科学院半导体研究所
赵冀
中国科学院半导体研究所
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郑红军
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:抛光晶片 GAAS 砷化镓 抛光 亚表面损伤层
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惠峰
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:砷化镓 抛光晶片 GAAS SI-GAAS 晶片
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朱蓉辉
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:抛光晶片 微缺陷 晶片 GAAS 抛光
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何宏家
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:砷化镓 GAAS SI-GAAS 半绝缘 GAAS单晶
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赵冀
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:抛光晶片 微缺陷 晶片 GAAS 抛光
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吴让元
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:砷化镓 SI-GAAS GAAS 化学机械抛光 抛光
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曹福年
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:SI-GAAS 砷化镓 亚表面损伤层 GAAS SI
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白玉珂
供职机构:中国科学院半导体研究所
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尹玉华
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:GAAS 亚表面损伤层 抛光晶片 抛光 砷化镓
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刘明焦
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:SI-GAAS X射线 亚表面损伤层 抛光晶片 亚表面
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