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於伟峰
於伟峰
作品数:
6
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复旦大学信息科学与工程学院电子工程系
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发文基金:
国家自然科学基金
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合作作者
李炳宗
复旦大学信息科学与工程学院电子...
张伟
复旦大学信息科学与工程学院电子...
包宗明
复旦大学信息科学与工程学院电子...
姜国宝
复旦大学
黄维宁
复旦大学
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李炳宗
供职机构:复旦大学
研究主题:固相反应 硅化物 自对准 NISI 微电子
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包宗明
供职机构:复旦大学
研究主题:MEMS 红外 硅 多孔硅 微机电系统
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黄维宁
供职机构:复旦大学
研究主题:铁电薄膜 铁电存储器 固相反应 铁电电容 MFIS
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所获资助
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姜国宝
供职机构:复旦大学
研究主题:铁电薄膜 铁电存储器 铁电电容 MFIS 离子注入
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张伟
供职机构:复旦大学信息科学与工程学院
研究主题:PECVD 氮氧化硅 梯度薄膜 氧 共振散射
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亓文杰
供职机构:复旦大学信息科学与工程学院电子工程系
研究主题:固相反应 快速退火 超薄 硅化铂 快速热退火
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邹斯洵
供职机构:复旦大学
研究主题:COSI2 CMOS器件 CMOS 自对准 超大规模集成电路
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顾志光
供职机构:复旦大学材料科学系
研究主题:固相反应 硅 氮化铝 固相 快速退火
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吴卫军
供职机构:复旦大学
研究主题:钴 钛 固相反应 COSI2 CMOS器件
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李孔宁
供职机构:中国科学院上海技术物理研究所
研究主题:MIS器件 INSB 氮氧化硅 硅栅 介质膜
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