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於伟峰

作品数:6 被引量:15H指数:3
供职机构:复旦大学信息科学与工程学院电子工程系更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信理学更多>>

领域

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主题

  • 9个自对准
  • 9个CMOS
  • 8个电路
  • 8个退火
  • 8个
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  • 8个COSI2
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  • 7个固相
  • 7个固相反应
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机构

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资助

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  • 3个上海市自然科...
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传媒

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  • 2个科学
  • 2个无机材料学报
  • 2个激光与红外

地区

  • 15个上海市
  • 1个北京市
16 条 记 录,以下是 1-10
李炳宗
供职机构:复旦大学
研究主题:固相反应 硅化物 自对准 NISI 微电子
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包宗明
供职机构:复旦大学
研究主题:MEMS 红外 硅 多孔硅 微机电系统
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黄维宁
供职机构:复旦大学
研究主题:铁电薄膜 铁电存储器 固相反应 铁电电容 MFIS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姜国宝
供职机构:复旦大学
研究主题:铁电薄膜 铁电存储器 铁电电容 MFIS 离子注入
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张伟
供职机构:复旦大学信息科学与工程学院
研究主题:PECVD 氮氧化硅 梯度薄膜 氧 共振散射
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亓文杰
供职机构:复旦大学信息科学与工程学院电子工程系
研究主题:固相反应 快速退火 超薄 硅化铂 快速热退火
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邹斯洵
供职机构:复旦大学
研究主题:COSI2 CMOS器件 CMOS 自对准 超大规模集成电路
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顾志光
供职机构:复旦大学材料科学系
研究主题:固相反应 硅 氮化铝 固相 快速退火
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴卫军
供职机构:复旦大学
研究主题:钴 钛 固相反应 COSI2 CMOS器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李孔宁
供职机构:中国科学院上海技术物理研究所
研究主题:MIS器件 INSB 氮氧化硅 硅栅 介质膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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