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王翊
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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国家高技术研究发展计划
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合作作者
李铁
中国科学院上海微系统与信息技术...
王跃林
中国科学院上海微系统与信息技术...
周宏
中国科学院上海微系统与信息技术...
刘延祥
中国科学院上海微系统与信息技术...
熊斌
中国科学院上海微系统与信息技术...
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李铁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米
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王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
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周宏
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:红外气体传感器 红外光源 中心波长 探测器芯片 红外特征
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刘延祥
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:红外气体传感器 红外光源 红外探测器 金字塔结构 中心波长
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熊斌
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
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刘义冬
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:热电堆 CMOS兼容 多晶硅 微机械 微电子机械系统
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林心如
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:闪耀光栅 光栅光谱仪 介质薄膜 热堆 探测器
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胡艳军
供职机构:安徽大学
研究主题:多用户检测 无线传感器网络 CDMA 码分多址 多用户检测方法
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周萍
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:液滴 传感器 车辆 减速 气密
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奚庆中
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:闪耀光栅 光栅光谱仪 介质薄膜 热堆 探测器
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