2025年1月24日
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白云
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160
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H指数:4
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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国家重点基础研究发展计划
国家科技重大专项
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相关领域:
电子电信
电气工程
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化学工程
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合作作者
刘新宇
中国科学院微电子研究所
汤益丹
中国科学院微电子研究所
杨成樾
中国科学院微电子研究所
田晓丽
中国科学院微电子研究所
陈宏
中国科学院微电子研究所
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刘新宇
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:氮化镓 刻蚀 欧姆接触 衬底 外延层
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汤益丹
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:碳化硅 衬底 微波等离子体 含氧气体 肖特基接触
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杨成樾
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:碳化硅 衬底 肖特基二极管 微波等离子体 肖特基接触
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田晓丽
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:碳化硅 IGBT器件 绝缘栅双极晶体管 衬底 击穿电压
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陈宏
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:碳化硅 衬底 SIC 沟槽 源极
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相关人物
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研究领域
申华军
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:碳化硅 刻蚀 欧姆接触 INGAP/GAAS_HBT 肖特基二极管
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相关人物
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研究领域
王盛凯
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:微波等离子体 衬底 含氧气体 沟道 键合
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所获资助
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陆江
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:功率器件 绝缘栅双极晶体管 集成电路 栅氧化层 静电保护
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研究领域
周静涛
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:肖特基二极管 硅基 肖特基 太赫兹 垂直腔面发射激光器
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刘焕明
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:SUB 硅基 钝化层 离子注入工艺 肖特基二极管
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