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邢薇

作品数:69 被引量:2H指数:1
供职机构:中国科学院光电技术研究所更多>>
相关领域:电子电信自动化与计算机技术机械工程生物学更多>>

领域

  • 36个电子电信
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主题

  • 35个光刻
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  • 29个激光
  • 29个光刻机
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  • 22个投影光刻机
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  • 16个电子束曝光
  • 16个电子束曝光机
  • 16个照明
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  • 12个底面对准

机构

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  • 1个西藏自治区气...
  • 1个西藏自治区气...
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资助

  • 27个国家自然科学...
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传媒

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  • 5个电子设计工程
  • 4个中国仪器仪表
  • 4个现代科学仪器
  • 4个半导体技术
  • 4个计算机应用

地区

  • 44个四川省
  • 1个江苏省
  • 1个陕西省
  • 1个西藏
  • 1个广东省
48 条 记 录,以下是 1-10
胡松
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐小萍
供职机构:西藏自治区气候中心
研究主题:生物芯片 纳米光刻 掩模 光刻分辨力 光刻机
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赵立新
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
严伟
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王建
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光束 镜片 动镜 投影光刻机 波像差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王肇志
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:电子束曝光机 光刻机 片夹 生物芯片 计算机控制系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王淑蓉
供职机构:西安工业大学计算机科学与工程学院
研究主题:生物芯片 电子束曝光机 SERVER 系统设计 UML
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐文祥
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 投影光刻机 掩模 光束 动镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨勇
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:纳米光刻 光刻机 投影光刻 光刻 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马平
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 掩模 工件台 样片 纳米光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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