2024年12月28日
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雒建斌
作品数:
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供职机构:
清华大学
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合作作者
温诗铸
青华大学
路新春
清华大学机械工程学院摩擦学国家...
张晨辉
清华大学机械工程学院摩擦学国家...
何永勇
清华大学机械工程学院摩擦学国家...
马丽然
清华大学机械工程学院摩擦学国家...
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温诗铸
供职机构:清华大学
研究主题:润滑 薄膜润滑 润滑剂 弹流润滑 摩擦学
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路新春
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
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张晨辉
供职机构:清华大学
研究主题:超高真空 换热器 水基润滑液 防锈剂 氦气
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何永勇
供职机构:清华大学
研究主题:晶圆 故障诊断 化学机械抛光 抛光液 旋转机械
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马丽然
供职机构:清华大学
研究主题:发光 润滑剂 流体粘度 润滑 和频
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解国新
供职机构:清华大学
研究主题:自润滑复合材料 润滑材料 微胶囊 自润滑材料 复合材料
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郭丹
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 抛光液 原子力显微镜 扭转振动 轴承
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刘大猛
供职机构:清华大学
研究主题:超高真空 激子 换热器 氦气 冷头
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潘国顺
供职机构:清华大学
研究主题:抛光 化学机械抛光 抛光液 去除速率 磨粒
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刘宇宏
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 抛光液 摩擦副表面 铜布线 润滑材料
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