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江晓军
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8
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中国科学院上海光学精密机械研究所
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合作作者
曾爱军
中国科学院上海光学精密机械研究...
王向朝
中国科学院上海光学精密机械研究...
黄惠杰
中国科学院上海光学精密机械研究...
郭小娴
中国科学院上海光学精密机械研究...
黄立华
中国科学院上海光学精密机械研究...
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曾爱军
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:起偏器 光刻机 移相 测量方法 偏振
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王向朝
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
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黄惠杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 照明系统 光刻 测量方法
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郭小娴
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:同步移相 移相 移相器 衍射 安全数码卡
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董作人
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
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李代林
供职机构:中国石油大学(华东)
研究主题:偏振调制 偏振光 水下 光源 图像采集及处理
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黄立华
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:免疫层析 上转换发光 光刻机 试纸条 金标
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谢承科
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 生物免疫 光学系统 免疫层析
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赵永凯
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:生物传感器 在线检测装置 气溶胶 敏感区 生物气溶胶
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步扬
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:偏振 光刻机 斯托克斯参量 偏振态 数值孔径
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