2025年1月15日
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赵乾
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H指数:2
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清华大学
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文化科学
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合作作者
孟永钢
清华大学机械工程学院摩擦学国家...
周济
清华大学材料科学与工程系新型陶...
路新春
清华大学
彭瑞光
清华大学
李勃
清华大学材料科学与工程系新型陶...
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孟永钢
供职机构:清华大学
研究主题:电流变液 隐身 气体润滑 金属 脱附
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周济
供职机构:清华大学
研究主题:超材料 低温共烧陶瓷 光子晶体 铁氧体 左手材料
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路新春
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
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彭瑞光
供职机构:清华大学
研究主题:隐身 金属 电介质 可调谐 全介质
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余强
供职机构:清华大学
研究主题:晶圆 膜厚 圆台 涡流传感器 全氟化合物
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李弘恺
供职机构:清华大学
研究主题:晶圆 CMP 控制系统 膜厚 电涡流传感器
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李勃
供职机构:清华大学深圳研究生院
研究主题:光子晶体 低温共烧陶瓷 陶瓷 负磁导率 左手材料
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何永勇
供职机构:清华大学
研究主题:晶圆 故障诊断 化学机械抛光 抛光液 旋转机械
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曲子濂
供职机构:清华大学
研究主题:晶圆 化学机械抛光 膜厚 涡流传感器 标定方法
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赵德文
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 解析解 晶圆 基板 拉拔
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