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杜俊平
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供职机构:
中国恩菲工程技术有限公司
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合作作者
严大洲
中国恩菲工程技术有限公司
毋克力
中国恩菲工程技术有限公司
肖荣晖
中国恩菲工程技术有限公司
汤传斌
中国恩菲工程技术有限公司
郭富东
中国恩菲工程技术有限公司
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严大洲
供职机构:中国恩菲工程技术有限公司
研究主题:多晶硅 四氯化硅 三氯氢硅 还原炉 氯硅烷
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肖荣晖
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汤传斌
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毋克力
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研究主题:多晶硅 四氯化硅 三氯氢硅 氯化氢 还原炉
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郭富东
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研究主题:四氯化硅 多晶硅 纳米级二氧化硅 氯化氢 脱酸
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汪绍芬
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研究主题:多晶硅 还原炉 底盘 进气系统 排气系统
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谢正和
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研究主题:四氯化硅 多晶硅 纳米级二氧化硅 氯化氢 脱酸
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谢冬晖
供职机构:中国恩菲工程技术有限公司
研究主题:四氯化硅 多晶硅 纳米级二氧化硅 氯化氢 脱酸
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赵雄
供职机构:中国恩菲工程技术有限公司
研究主题:三氯氢硅 四氯化硅 精馏塔 多晶硅 提纯
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姜利霞
供职机构:中国恩菲工程技术有限公司
研究主题:三氯氢硅 多晶硅 精馏塔 氯硅烷 四氯化硅
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