2025年3月21日
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薛明鑫
作品数:
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供职机构:
中国科学院声学研究所
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发文基金:
辽宁省自然科学基金
国家自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
刘梦伟
中国科学院声学研究所
李新
沈阳工业大学信息科学与工程学院
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李新
供职机构:沈阳工业大学信息科学与工程学院
研究主题:压力传感器 压力敏感芯片 微全分析系统 集成化 SOI
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刘梦伟
供职机构:中国科学院声学研究所
研究主题:声表面波 硅 PZT薄膜 压电传声器 声表面波器件
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