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陆德仁

作品数：66 被引量：104H指数：6
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
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王渭源
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 传感器 微电子机械系统 微机械器件 金刚石薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李昕欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 传感器 硅 硅片 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊斌
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
鲍海飞
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：原子力显微镜 加速度计 高量程加速度传感器 量程 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗乐
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：圆片级 封装 子层 电镀 封装结构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王钻开
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微电子机械系统 微机械 固有频率 微机械加速度传感器 压敏电阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李宝清
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 加速度计 电容式 栅结构 加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李欣欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：加速度传感器 微机械 硅 量程 微机械加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱建中
供职机构：中国科学院上海冶金研究所
研究主题：传感器 葡萄糖传感器 生物传感器 微电极 葡萄糖
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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