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刘斌
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供职机构:
北京有色金属研究总院
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发文基金:
国家科技重大专项
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
周旗钢
北京有色金属研究总院
冯泉林
北京有色金属研究总院
刘红艳
北京有色金属研究总院
王敬
北京有色金属研究总院
刘大力
北京有色金属研究总院
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周旗钢
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅单晶 硅片 300MM硅片 单晶硅 直拉硅单晶
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刘红艳
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 HF RCA清洗 硅片清洗 声波
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刘大力
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:SI 拉速 外延片 SP1 沉积厚度
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王敬
供职机构:清华大学
研究主题:沟道 半导体结构 场效应晶体管 晶体管 栅结构
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冯泉林
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 300MM硅片 硅片表面 外延片 氧沉淀
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籍小兵
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:沉积温度 多晶硅 晶粒 吸杂
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何自强
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:SI 拉速 外延片 SP1 表面粗糙度
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鲁进军
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:超大规模集成电路 300MM硅片 硅片 化学机械抛光 氧浓度
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刘佐星
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:二氧化硅膜 硅片 精确控制 吸盘 蒸汽
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王新
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:大尺寸 CMP 硅片 机械抛光 化学机械抛光
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