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刘斌

作品数:8 被引量:7H指数:1
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周旗钢
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅单晶 硅片 300MM硅片 单晶硅 直拉硅单晶
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刘红艳
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 HF RCA清洗 硅片清洗 声波
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘大力
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:SI 拉速 外延片 SP1 沉积厚度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王敬
供职机构:清华大学
研究主题:沟道 半导体结构 场效应晶体管 晶体管 栅结构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冯泉林
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 300MM硅片 硅片表面 外延片 氧沉淀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
籍小兵
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:沉积温度 多晶硅 晶粒 吸杂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何自强
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:SI 拉速 外延片 SP1 表面粗糙度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
鲁进军
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:超大规模集成电路 300MM硅片 硅片 化学机械抛光 氧浓度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘佐星
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:二氧化硅膜 硅片 精确控制 吸盘 蒸汽
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王新
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:大尺寸 CMP 硅片 机械抛光 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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