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卢文娟
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合作作者
张玉林
山东大学控制科学与工程学院电子...
孔祥东
山东大学化学与化工学院
郝慧娟
山东大学控制科学与工程学院电子...
魏强
山东大学控制科学与工程学院电子...
宋会英
山东大学控制科学与工程学院电子...
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张玉林
供职机构:中国石油大学(华东)
研究主题:电子束 电子束光刻 微机电系统 抗蚀剂 聚合酶链式反应
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孔祥东
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束 多层膜 波带片 聚焦离子束 退火
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郝慧娟
供职机构:山东省计算机网络重点实验室
研究主题:电子束光刻 扫描隧道显微镜 邻近效应校正 电子束 精密工作台
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魏强
供职机构:泰山学院
研究主题:精密工作台 扫描隧道显微镜 压电陶瓷 神经网络 电子束光刻
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宋会英
供职机构:中国石油大学(华东)
研究主题:电子束光刻 邻近效应校正 扫描隧道显微镜 MONTE 二次电子
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于欣蕾
供职机构:山东大学电气工程学院
研究主题:扫描隧道显微镜 PID控制 微位移工作台 精密工作台 STM
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郝惠娟
供职机构:山东大学控制科学与工程学院电子束研究所
研究主题:电子束光刻 母板 PMMA 辐射降解 聚甲基丙烯酸甲酯
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冯圣玉
供职机构:山东大学
研究主题:聚硅氧烷 硅橡胶 有机硅 高温硫化硅橡胶 硅氧烷
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